[18p-C309-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [18p-C309-4] ツインカソードトーチとツインアノードトーチの特性比較

〇(B)川野 宏太¹、笹岡 秀紀¹、古瀬 宗雄¹、崎山 智司² (1.大島商船高専、2.山口大学国総科)

キーワード：プラズマ溶射、ツインアノードプラズマトーチ、ツインカソードプラズマトーチ

高効率プラズマ溶射装置であるツインカソードプラズマトーチとツインアノードプラズマトーチの特性の比較を、飛行粒子の温度・速度分布を評価することで行った。既存の測定機器では温度測定において大きな誤差があることが分かっているため、プラズマ発光の影響を除去する新規手法を用いた。比較により、ツインカソードトーチでは温度を上昇させる点で、ツインアノードトーチでは速度を増加させる点で優位性を持つことが分かった。