[18p-C310-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[18p-C310-13] 電子デバイス評価に向けた電子顕微鏡複合化原子間力顕微鏡の開発

〇潤間 威史¹、佐藤 宣夫²、山本 秀和²、中澤 謙太³、岩田 太^1,3 (1.静岡大学創造科技、2.千葉工業大学、3.静岡大学)

キーワード：原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡、半導体デバイス