[18p-E202-1~18] 12.7 医用工学・バイオチップ

[18p-E202-6] シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価

〇張 慧¹、岡部 圭¹、菊池 直樹¹、大嶋 紀安²、加治佐 平³、坂田 利弥⁴、和泉 孝志²、曾根 逸人¹ (1.群馬大院理工、2.群馬大院医、3.徳島大、4.東京大院工)

キーワード：シリコンナノワイヤバイオセンサ、電子線描画法、抗原抗体特異結合

超高感度シリコンナノワイヤ（SiNW）バイオセンサを実現するため、SiNW幅を11 nmへ低減させ、バイオセンサの検出感度を評価した。電子線描画における露光量および反応性イオンエッチングにおけるガス流量、エッチング速度を最適化することで、幅11 nmのSiNWの形成を確認した。作製したSiNWバイオセンサを用いて、抗原抗体特異結合によるバイオセンサの検出感度を評価した。SiNWの細線化によるバイオセンサの検出感度の向上が確認できた。