2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[18p-PB2-1~4] 13.3 絶縁膜技術

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PB2 (第二体育館)

16:00 〜 18:00

[18p-PB2-2] The effect of Hf-ion implantation on the charge trapping characteristics of MONOS-type memory devices

〇(M1)Rahul Agrawal1、Kiyoteru Kobayashi1 (1.Tokai Univ.)

キーワード:Non-volatile memories, Ion-implantation, ESR