2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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[18p-PB4-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PB4 (第二体育館)

16:00 〜 18:00

△ [18p-PB4-2] CZ-Si結晶成長中の点欠陥挙動に与える窒素の影響

〇(M1)谷口 元春1、末岡 浩治2、宝来 正隆3 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.SUMCO)

キーワード：点欠陥、窒素、第一原理解析