[19a-B32-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[19a-B32-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演 ] LaAlSiO_xのlayer-by-layerエッチング

〇大村 光広¹、古本 一仁¹、松田 和久¹、佐々木 俊行¹、酒井 伊都子¹、林 久貴¹ (1.東芝メモリ)

キーワード：ドライエッチング