[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19a-E304-5] 非ガウス型ランダム振動を用いた圧電MEMS振動発電素子の特性評価

〇村上 修一¹、吉村 武²、金岡 祐介¹、津田 和城¹、細山 亮¹、堀口 翔伍¹、佐藤 和郎¹、神田 健介³、藤村 紀文² (1.大阪技術研、2.大阪府大工、3.兵庫県立大工)

キーワード：振動発電、圧電MEMS、ランダム振動

我々は圧電MEMS振動発電素子に着目し研究開発を行っており、今までに正弦波振動やガウス型ランダム振動を用いて特性評価を行っている。今回、より実環境に近いとされる非ガウス型ランダム振動を用いて特性評価を行ったので報告する。