[19a-E312-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

[19a-E312-2] Carbon- coating of facetless electron source for increasing beam brightness

〇Soichiro Matsunaga¹, Yasunari Sohda¹ (1.R&D group Hitachi Ltd.)

Keywords:electron source, amorphous, Brightness

電子顕微鏡の性能向上には、大電流を微小光源から発する即ち輝度が高い電子源が求められている。光源の極小化により輝度を向上する方法が主流だが、電流量も減少する問題がある。我々は一つの解決方法として非晶質炭素による電子源のファセットレス化を目指している。実際に非晶質カーボンで電子源先端を形成し、その組成評価および電子状態評価を行った。