[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-2] F₂レーザーの光化学表面改質法により形成したポリカーボネート上シリコーン改質SiO₂膜の耐摩耗性および耐熱性向上

〇野尻 秀智¹、大越 昌幸² (1.レニアス、2.防衛大電気電子)

キーワード：光化学改質、F2レーザー、シリコーン

自動車用樹脂窓材への適用を目的とし，ポリカーボネート上に形成したシリコーン膜に，メッシュマスクを介してF₂レーザーを照射し，シリコーンの一部をSiO₂に改質した．SiO₂の形成により耐摩耗性が向上したが，さらに膜厚を増すと，逆に耐摩耗性が低下した．そこで，メッシュマスクと試料間の距離を大きくしたところ，SiO₂の膜厚によらず良好な耐摩耗性が得られ，同時に耐熱性も改善した。