[19p-PB3-1~24] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[19p-PB3-3] AlGaN/GaN/Buffer/(111)SiとSiO₂/(100)Si接合ウエハのドライエッチング

〇横井 雅志¹、森山 裕貴¹、新海 聡子¹ (1.九工大)

キーワード：接合ウエハ