[20a-B11-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

[20a-B11-10] 低温Arプラズマにおける電子と準安定励起原子Ar(1s₅)の数密度相関

〇真壁 利明¹ (1.慶大理工)

キーワード：Ar準安定励起原子密度、Ar低温RFプラズマ源、電子密度と準安定励起原子密度の相関

低温プラズマ源のプラズマ密度(電子密度)は最も基礎的な物理量で沢山の研究例がある。同時に、レーザ計測技術の普及で準安定励起原子密度に関する観測やシミュレーション例も豊富に供給されている。本報告ではArのrf-低温プラズマにおける電子密度n_eに加え、準安定励起原子Ar(1s₅)の数密度N*とその温度T_gを低温プラズマ源ごとに調査し、電子密度と準安定励起原子の数密度相関、N*/N_g -n_e/N_gについて具体的に論じる。なお、N_gはArガスの数密度である。Ref: T. Makabe, J. Phys.D 52 (2019) 213002 and 259601.