10:45 〜 11:00
△ [20a-B31-7] 高移動度酸化物薄膜トランジスタにおける信頼性劣化現象
キーワード:酸化物半導体、薄膜トランジスタ、信頼性
本研究では高移動度酸化物半導体In-W-Zn-Oを用いた薄膜トランジスタの直流および交流電圧による駆動時において、発光現象を伴う特異な信頼性劣化現象を観測した。
一般セッション(口頭講演)
合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
10:45 〜 11:00
キーワード:酸化物半導体、薄膜トランジスタ、信頼性