[20a-B31-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [20a-B31-7] 高移動度酸化物薄膜トランジスタにおける信頼性劣化現象

〇高橋 崇典¹、藤井 茉美¹、宮永 美紀²、Bermundo Juan Paolo¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.住友電気工業株式会社)

キーワード：酸化物半導体、薄膜トランジスタ、信頼性

本研究では高移動度酸化物半導体In-W-Zn-Oを用いた薄膜トランジスタの直流および交流電圧による駆動時において、発光現象を伴う特異な信頼性劣化現象を観測した。