[20a-PA4-1~14] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[20a-PA4-4] Supetter Epitaxy of (ZnO)_x(InN)_1-x Films on Sapphire Substrates:Observation of Morphological Evolution

〇Kentaro Kaneshima¹, Nanoka Miyahara¹, Seiichi Urakawa¹, Daisuke Yamashita¹, Kunihiro Kamataki¹, Kazunori Koga¹, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ)

Keywords:exciton transistor

可変バンドギャップの擬二次元系混晶である(ZnO)_x(InN)_1-x膜について，結晶成長初期における表面モルフォロジーの詳細な時間発展を観察し，格子不整合基板上におけるエピタキシャル成長のメカニズムを調べた．