[20p-C310-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [20p-C310-5] GdおよびGd-Mgスイッチングミラー薄膜の高性能化

〇寺島 賢人¹、下柳 勇次¹、柏木 誠¹、賈 軍軍²、中村 新一³、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.早大国際理工学Ｃ、3.青学大理工分析Ｃ)

キーワード：スイッチングミラー、スパッタリング、Gd

スイッチングミラー薄膜はプロトンインターカレーションによる水素化・脱水素化反応により透明状態と鏡状態を可逆的に変化させることができ、様々な応用が期待されている。しかし容量の限界や透明状態時における透過率の低さが実用化への課題の１つとなっている。本研究ではGdH_xやGd-MgH_x材料に注目して、成膜時に水素を導入した反応性スパッタにより成膜し、これらのスイッチングミラー特性の向上を確認した。