[20p-E206-1~11] 3.9 テラヘルツ全般

[20p-E206-2] 円筒形空洞共振器集積共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器

泉 龍之介¹、佐藤 匠¹、〇鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ発振器、共鳴トンネルダイオード

共鳴トンネルダイオード（RTD）に円筒形空洞共振器を集積した新たなテラヘルツ発振器を提案・作製したので報告する。初期的な実験として、3層レジストを用いた電子ビーム露光プロセスにより構造を形成し、1.79THzまでの発振が得られたが、RTDと共振器を接続する金属柱によって寄生容量が発生し理論よりも周波数が低くなった。寄生容量を理論計算に盛り込むと実験と理論は良く一致した。