[20p-E314-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-E314-2] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)とコロナ放電によるシリコン酸化膜パッシベーションの評価

〇望月 敏光¹、伊藤 明²、棚橋 克人¹、中西 英俊²、川山 巌³、斗内 政吉³、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研、2.SCREEN、3.阪大レーザー研)

キーワード：結晶シリコン太陽電池、テラヘルツ、酸化膜

シリコン酸化膜パッシベーション試料において、コロナ放電を組み合わせたレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)による評価結果と、表面電場の非接触測定法としてよく用いられる電圧-電荷(V-Q)測定の結果を定量的に突き合せた。LTEMによる測定結果はV-Q測定とよく一致し、かつV-Q法では評価しづらい電荷蓄積領域に感度を示していた。これよりLTEMはトンネル酸化膜等の系への応用が期待できる。