[21a-E319-1~5] 6.5 表面物理・真空

[21a-E319-4] 無酸素Pd/Tiを利用した非蒸発型ゲッターコーティングの開発と電子顕微鏡による観察、放射光Ｘ線光電子分光による表面分析

宮澤 徹也¹、栗原 真志²、大野 真也²、山中 操³、橋本 綾子^3,4、狩野 悠⁵、中山 泰生⁵、小澤 健一⁶、菊地 貴司⁷、〇間瀬 一彦^7,1 (1.総研大、2.横国大、3.NIMS、4.筑波大、5.東京理科大、6.東工大、7.KEK)

キーワード：非蒸発型ゲッター、真空、放射光X線光電子分光

我々は新しい非蒸発型ゲッターである無酸素Pd/Tiを開発した。無酸素Pd/Tiを成膜した真空容器は150 ℃、12時間のベーキングで活性化し、残留H₂とCOを排気する。また、大気導入と活性化を繰り返しても排気速度が低下しない。成膜装置製作コスト、ランニングコストが低く、熟練技術者も要しない。本発表では無酸素Pd/Ti成膜の詳細と電子顕微鏡による観察、放射光光電子分光による表面分析結果を報告する。