[21a-PA2-1~31] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-PA2-11] RFスパッタを用いたVO₂の成膜及び温度による光学特性の評価

〇金 胄男^1,2、江尻 拓斗¹、杉山 睦^1,2 (1.東京理科大学、2.東京理科大学総研)

キーワード：VO2、相転移、サーモクロミック

VO₂は温度による相転移により、抵抗率や透明度が温度と共に変化する物質である。特に常温では赤外光を透過し、68 ℃以上では赤外光を遮蔽する特性を有している。この特性を用いることで、例えばVO₂を窓やビニールハウスと組み合わせることで、自律的に熱源である赤外光を制御し、室内の温度を一定に保つ機能の付加が期待できる。本研究では、低温で大面積に成膜できるRFスパッタ法を用いて様々な基板上にVO₂薄膜の堆積を行い、サーモクロミック特性を測定した。