[21a-PA2-1~31] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-PA2-23] Fe添加量によるNFO薄膜の物性変化

〇(M2)平野 雅也¹、別府 海渡¹、森田 廣¹ (1.山口東理大)

キーワード：透明太陽電池、透明半導体薄膜

透明太陽電池を構成するｐ型半導体として、NiO薄膜を検討する中で、二元同時電子ビーム蒸着法により種々の元素の添加を試みてきた。NLO（Liを添加したNiO) 薄膜およびNCO(Cuを添加したNiO)薄膜の組成による物性の変化を調べたが、今回は、Feを添加したNFOについて、同様に膜物性変化や太陽電池特性に及ぼす影響を調べ、今までのものと比較した。