13:45 〜 14:00 [9p-M114-3] 高出力サブミリ秒加熱のFLA装置による浅く高活性な接合の形成 上田 晃頌1、〇谷村 英昭1、河原崎 光1、山田 隆泰1、布施 和彦1、青山 敬幸1、加藤 慎一1、野崎 仁秀1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
14:00 〜 14:15 [9p-M114-4] FLAとSol-Gel膜を用いた高濃度不純物導入技術 〇谷村 英昭1、布施 和彦1、青山 敬幸1、加藤 慎一1、野崎 仁秀1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)