11:45 〜 12:00 [12a-W641-11] MgF2-Ar-CF4およびMg-Ar-CF4スパッタリングにおける阻止電極をもちいた薄膜再スパッタリングの抑制 〇草野 英二1 (1.金沢工大バイオ・化学)