11:15 〜 11:30
〇平永 良臣1、長 康雄1 (1.東北大通研)
平永 良臣
発表者・著者、共著者
2019年3月11日(月) 09:00 〜 12:00 W351 (W351)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 6 薄膜・表面
- | 6.1 強誘電体薄膜
2019年3月9日(土) 13:15 〜 15:45 M114 (H114)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
14:15 〜 14:30
〇平永 良臣1、長 康雄1 (1.東北大通研)