09:30 〜 11:30 [10a-PB2-11] Sb添加β-FeSi2エピタキシャル膜におけるドナー活性化条件の最適化(II) 〇(M2)江口 元1、阿部 光希1、木下 涼太1、村上 智樹1、寺井 慶和1 (1.九工大情報工)