11:15 〜 11:30
〇小林 弘人1、横川 凌1,2、木下 晃輔1、沼沢 陽一郎1、小椋 厚志1、西澤 伸一3、更屋 拓哉4、伊藤 一夫4、高倉 俊彦4、鈴木 慎一4、福井 宗利4、竹内 潔4、平本 俊郎4 (1.明治大理工、2.学振特別研究員、3.九州大工、4.東京大工)
小林 弘人
発表者・著者、共著者
2019年3月11日(月) 09:00 〜 11:45 W934 (W934)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術