[10a-M114-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [10a-M114-3] スピンコートによって形成したPI上のダブルゲートCu-MIC poly-Ge TFT

〇(M2)内海 大樹¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：薄膜トランジスタ、多結晶ゲルマニウム、ポリイミド