[10a-S011-1~8] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[10a-S011-2] Influence of V concentration on crystal orientation in solid-phase crystallization of ZnO/VZO/ZnO stacked films

〇(B)Shuhei Matsuzawa¹, Kenta Shito², Takeru Okada², Tomoyuki Kawashima², Katsuyoshi Washio² (1.Sch. Eng., Tohoku Univ., 2.Grad. Sch. Eng., Tohoku Univ.)

Keywords:zinc oxide, vanadium, solid-phase crystallization

a面サファイア基板上でのZnO/V添加ZnO(VZO)/ZnO積層膜（総膜厚300 nm以上）の固相成長において、焼成後の膜全体のV濃度を制御することにより傾斜配向の抑制を図った。