[10p-M114-1~12] Progress of characterization and monitoring techniques that reveal fundamental of light process

△ [10p-M114-8] Ultrafast and precision processing of glass by selective absorption of laser beam into high-electron-density region

〇Yusuke Ito¹, Reina Yoshizaki¹, Naoyuki Miyamoto¹, Akihiro Shibata², Ikuo Nagasawa², Keisuke Nagato¹, Naohiko Sugita¹ (1.Univ. Tokyo, 2.AGC Inc.)

Keywords:laser processing, glass, electron density

我々はこれまでに，フェムト秒レーザ照射によりガラス内部に局所的な高電子密度領域を形成し，その領域に選択的に連続波レーザを吸収させることで，従来の5000倍の加工速度でガラスの微細精密加工を実現している．本研究では，フェムト秒レーザと連続波レーザの照射タイミングが加工に及ぼす影響を調査することで，光吸収が一旦開始すれば，吸収開始位置を起点としてダイナミックに加工が伸展することを示した．