[10p-PA8-1~39] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[10p-PA8-5] Reuse of Ir(111)/α-Al2O3(0001) substrates in graphene CVD

〇Atsushi Sakurai¹, Masaya Niki¹, Zin Kitazaki¹, Takeshi Watanabe¹, Atsuhito Sawabe¹, Shinji Koh¹ (1.Aoyama Gakuin Univ.)

Keywords:graphene, CVD, Ir

高品質かつ大面積のグラフェンを成長させる有力な方法として化学気相成長(CVD)が注目されている。現在CVDの下地基板として広く用いられているCuはCVD中に表面モルフォロジーが大きく変化することから再利用には適さない。そこで我々はCVDの下地基板として高融点で高い化学的安定性を有するIrに着目し、再利用に最適なIr(111)/α-Al₂O₃(0001)の作製条件とCVD条件の確立を目指して実験を行った。その結果について報告する。