[10p-W541-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [10p-W541-2] ミラー形成にTMAHウェットエッチングを用いたUVデバイスの特性評価

〇安江 信次¹、佐藤 恒輔^1,2、川瀬 雄太¹、池田 隼也¹、櫻木 勇介¹、岩山 章¹、岩谷 素顕¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、赤﨑 勇^1,3 (1.名城大学、2.旭化成、3.名大・赤﨑記念研究センター)

キーワード：UVデバイス