[10p-W541-1~20] 15.4 III-V-group nitride crystals

[10p-W541-9] Development of Waveguide Mach-Zehnder Interferometer for Quantum Optical Application: Fabricaiton of GaN Strip Waveguide Directional Coupler

〇Junya Miwa¹, Kihira Masafumi¹, Uemukai Masahiro¹, Hikosaka Toshiki², Nunoue Shinya², Katayama Ryuji¹ (1.Grad. School of Eng., Osaka Univ., 2.Corporate R&D Center, Toshiba Corporation)

Keywords:directional coupler, GaN, optical waveguide

2つの方向性結合器（DC）と位相シフタで構成される光導波路型マッハツェンダ干渉計（MZI）は光通信や量子情報処理の分野で高い応用性を持つ。GaNなどの窒化物半導体は同種の材料で青紫色半導体レーザを実現できるうえ、高い光学非線形性を有することから、本研究室ではこれを利用した波長800 nm帯の量子光源などの非線形光学デバイスの開発を進めている。本発表ではGaN ストリップ導波路型DCの作製について報告する。