[11p-W351-1~14] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [11p-W351-4] Characterization of piezoelectric coefficient e_31,f for orientation-controlled (K,Na)NbO₃ films prepared by hydrothermal method.

〇(M2)Akinori Tateyama¹, Yoshiharu Ito¹, Yoshiko Nakamura¹, Takao Shimizu¹, Yuichiro Orino¹, Minoru Kurosawa¹, Hiroshi Uchida², Takahisa Shiraishi³, Takanori Kiguchi³, Toyohiko Konno³, Nobuhiro Kumada⁴, Yoshimura Takeshi⁵, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo tech., 2.Sophia univ., 3.Tohoku Univ., 4.Yamanashi Univ., 5.Osaka prefecture Univ.)

Keywords:Piezoelectric, Hydrothermal synthesis

(K,Na)NbO₃は環境適応性の高い非鉛圧電体の中で、比較的高い圧電性を有しており、多くの研究がなされている。種々の作製法の中で、水熱法は作製温度が300°C以下の低温で作製が可能なため、これまでの作製方法で指摘されていたKやNaの揮発による組成ズレの問題が少ない。また、水熱法で作製した薄膜において分極処理を必要としない自己分極膜が作製できることも報告されている。 本研究では、水熱合成法で作製した(K,Na)NbO₃膜において、正・逆の圧電応答より圧電定数e_31,fの評価を行ったので報告する。