[11p-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-W641-7] BF₃及びBCl₃化合物の電子物性と解離

〇林 俊雄¹、関根 誠¹、石川 健治¹、堀 勝¹ (1.名大工)

キーワード：半導体、エッチング、分子の電子物性

BF3およびBCl3の電子物性と解離過程については実験的にも理論的にもD3h構造で議論されている。BF3については異論はないが、BCl3については疑問がある。UV-VUVスペクトルに表れる8.2 eVのピークがD3h構造では説明できないからである。このピークはD3h構造では対称性禁制遷移であり、C2vで対称性許容遷移になる。それ故、我々はC2v構造に沿った励起解離を調べた。その結果、7eV付近と9eV付近に表れるピークへの遷移でBCl3からBCl2+Clに解離することが分かった。