[11p-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-W641-8] ヘキサフルオロアセチルアセトンによる遷移金属(Ni, Co)におけるサーマルエッチング反応解析

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：遷移金属、アトミックレイヤーエッチング