[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-W641-14] プログラマブルRASの開発

〇田中 康仁^1,2、一色 秀夫²、税所 慎一郎¹ (1.シンクロン、2.電通大)

キーワード：スパッタリング

これまで金属酸化物薄膜の作製には、RFスパッタやデュアルカソード、パルススパッタなどさまざまな手法が確立されているが、アーキングや成膜速度が課題とされている。我々も金属不完全超薄膜の成膜プロセスとラジカル源による反応プロセスとを空間的に分離し、高速に繰り返し成膜するRASを開発し、量産機として高品質な酸化物薄膜の高速成膜を実現してきた。本研究では、これまでにない新たな装置、プログラマブルRASを提案する。