[9a-S223-1~9] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[9a-S223-3] Aberration analysis for a cylindrical deflector analyzer

Seiji Watanabe¹, 〇Hidekazu Murata¹, Hirotaka Asai¹, Eiji Rokuta¹, Hiroshi Shimoyama¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:cylindrical deflector analyzer, aberration, boundary charge method

前回の本学会において、電界放出電子分光法（FES）に用いる静電同軸円筒型分析器（CDA）について、我々で実際のCDAとスリットを忠実に数値モデル化し、フリンジングフィールドを考慮した電子軌道計算を行った。CDAについては、理想的な電場を想定した解析的な電子軌道計算は行われており、分光に最適な偏向角（一次元収束の偏向角度）は127.3°であると分かっている。しかし、実際には、スリット付近でフリンジングフィールドと呼ばれる一様電場からのズレが生じ、解析的に得られる理想的な電子軌道から外れてしまうことが知られている。我々の前回の結果から、実際の最適偏向角は約110°となることが分かっている。
今回は、解析解とフリンジングフィールドを考慮した場合とで、CDAを通過する際の電子軌道の収差について検討を行ったので報告する。