[9p-M114-1~10] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [9p-M114-9] Filter less spectroscopic method using transient response of PD

〇Nobuhiro Watanabe¹, Toshihiko Noda², Kazuaki Sawada², Masahiro Akiyama¹ (1.National Institute of Technology, Nagano College, 2.Toyohashi University of Technology)

Keywords:Spectrum, Filter-less, PD

分光器は回折格子や光学フィルタなど，光学素子が一般的に用いられている．これらの光学素子は大型で簡便に扱えない・費用が高額になる等の問題がある．そのため，小型・安価な分光イメージセンサの実現を目的としPD（pn接合フォトダイオード）の過渡応答を利用したフィルタレス分光方法を提案し，デバイスシミュレータを用いて実現可能であることを確認した．