[10a-Z03-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[10a-Z03-7] プラズマ処理によるMWCNTsの壁厚の減少

〇西村 康平¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、内田 秀雄¹ (1.中部大工)

キーワード：カーボンナノチューブ, プラズマ

本研究では、単層カーボンナノチューブに比べて、機械的性質や電気的性質に劣っている部分があるが、非常に生産効率が高い多層カーボンナノチューブを使い、プラズマ処理することにより、その多層カーボンナノチューブの壁厚をコントロールすることを目的として、プラズマ処理による壁厚の減少について調査を行なった。