[10a-Z24-1~12] 【CS.5】 Code-sharing Session of 6.1 & 13.3 & 13.5

[10a-Z24-9] ZrHf-oxide formation by Oxidation of Zr/Hf stacks and crystalline phase control

〇Ryosuke Hasegawa¹, Noriyuki Taoka¹, Akio Ohta¹, Katsunori Makihara¹, Mitsuhisa Ikeda¹, Seiichi Miyazaki¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:crystalline phase control, Hf-Oxide

近年、強誘電性を有するHf系酸化物薄膜に注目が集まっている。強誘電性を示すorthorhombic(O)相は、Hf系酸化物を形成後、熱処理によるマルテンサイト変態の過程で現れる準安定相と考えられている。そのため、TiN等をHf系酸化物のキャップ層として用い、熱処理するプロセスが研究されている。一方で、酸素の拡散を伴うHfの酸化プロセスでは、どのような結晶相が得られるか、明らかとなっていない。本研究ではHfまたはZr/Hf金属を熱酸化する方法に着目し、酸化温度を変えることによって、ZrHf酸化物の結晶相制御を試みた。