[10p-Z09-1~20] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[10p-Z09-5] Nano-Groove Formation on Si (111) Surfaces Assisted by Ag Particles Selectively Deposited at Step Edges

〇(M1)Zhida Ma¹, Seiya Masumoto¹, Kentaro Kawai¹, Kazuya Yamamura¹, Kenta Arima¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:wet etching, nano grooves, Si surface

我々は、三種類のウェットエッチングを複合的に用い、Si表面にナノメートル幅の溝構造を自己組織的に作製する試みを進めている。まず、Si (111)表面に異方性エッチングを施し、ステップ／テラス構造を作製する。次に、エッジ部へ選択的にAg原子を吸着させる。続いて、これをテンプレートとして金属アシストエッチングを施し、ナノ溝構造を形成する。今回は、各プロセス後のSi表面の構造を調査した結果を報告する。