[10p-Z10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10p-Z10-1] [第42回解説論文賞受賞記念講演] Germanium研究その後

〇鳥海 明¹、西村 知紀² (1.元・東大、2.東大)

キーワード：ゲルマニウム