15:00 〜 15:15 [12p-A305-6] 光学干渉非接触温度測定(OICT)を用いたシリコンウェハ内部温度のミリ秒時間分解測定 〇小柳 樹1、亀田 朝輝1、水川 友里1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)