17:15 〜 17:30 △ [12p-A205-13] プラズマ誘起欠陥分布を考慮したパーコレーション理論に基づくシリコン酸化膜の長期信頼性予測手法の提案 〇濱野 誉1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工)