10:45 〜 11:00 [13a-D419-7] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性評価 〇富樫 理恵1、笠羽 遼1、大江 優輝1、長井 研太2、後藤 健2、熊谷 義直2、菊池 昭彦1 (1.上智大理工、2.東京農工大院)