The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.1 Plasma production and diagnostics

[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

Thu. Mar 12, 2020 1:15 PM - 6:00 PM A302 (6-302)

Kentaro Tomita(Kyushu Univ.), Nakagawa Yusuke(首都大), Manabu Tanaka(Kyushu Univ.)

3:15 PM - 3:30 PM

[12p-A302-9] Modeling of AC He-APPJ irradiating a dielectric target

Tsukasa Kobayashi1, Kei Ikeda1 (1.ATHENASYS)

Keywords:Atmospheric pressure plasma jet, modeling

誘電体を照射する1MHz~50 kHzのHe-APPJのモデリングを試みた。RFプラズマに似た連続的な放電から、ストリーマが支配的な離散的放電に遷移する様子をモデル化できた。また、ターゲットの誘電率が大きいと、ストリーマ的(離散的)な特徴が弱まる傾向があることが明らかとなった。プラズマ、ラジカルなどの生成効率の観点に限れば、周波数は高い方が、また誘電率が大きい方が有利である。

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