[13a-D419-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13a-D419-11] VB法成長直径２インチβ-Ga₂O₃単結晶の結晶性評価

〇(M1)小野塚 昂大¹、小林 壮¹、太子 敏則¹、干川 圭吾^1,2、大葉 悦子²、小林 拓実² (1.信州大工、2.不二越機械工業)

キーワード：β-酸化ガリウム、転位密度、半値幅

VB法成長直径２インチβ-Ga₂O₃単結晶をX線回折およびエッチングによって評価した。
これによりエッチピット密度と半値幅は対応していることが分かった。