[14a-D305-1~10] 7.5 Ion beams

[14a-D305-7] Development of compact high energy gas cluster ion source and its applications to SIMS

〇(B)Kentaro Hirata¹, Toshio Seki¹, Takaaki Aoki¹, Jiro Matsuo¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:gas cluster ion beam, SIMS

本研究では、クラスターイオンビームの照射エネルギーを大きくすることで高質量の分子の収率がどのように変化するのかを調べるため、新たに小型高エネルギークラスターイオン源（最大印加電圧50kV）を開発し、高エネルギーArガスクラスターイオンによるSIMS測定を行った。