[15p-A201-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [15p-A201-10] 界面平坦性から見た極薄金属酸化Al₂O₃/4H-SiC構造の有用性

〇土井 拓馬^1,2、柴山 茂久¹、竹内 和歌奈^1,3、坂下 満男¹、田岡 紀之¹、清水 三聡²、中塚 理¹ (1.名大院工、2.産総研・名大GaN-OIL、3.愛知工大)

キーワード：4H-SiC、MOS界面、Al2O3