[15p-A305-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [15p-A305-9] Development of Local Transfer Process of Single-Crystalline Silicon Thin Films on Plastic Substrate

〇Tomotaka Hirano¹, Ryuji Kawakita¹, Hiroaki Hanafusa¹, Seiichiro Higashi¹ (1.Hiroshima Univ.)

Keywords:Flexible Device, Silicon process, Layer Transfer

これまでに 99.9% 以上の転写歩留まりでPET基板上に単結晶シリコンを用いて高い電界効果移動度、高い信頼性を有する CMOS 回路やメモリの作製を報告している。そこで、使い捨てが求められるバイオセンサーなどのより広範なアプリケーションへ応用するためには、コストの大幅な削減が必要とされる。よって本研究では、同一 SOI 基板上の c-Si 薄膜を複数のプラスチック基板上の必要な領域にのみに局所的に繰り返し転写するプロセスの構築を試みた。