[15p-D215-1~11] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [15p-D215-10] Surface flattening of conductive polymer coated PET film by nanoimprint technique

〇Atsushi Oshima¹, Tomoaki Oga¹, Naho Kaneko¹, Satoru Kaneko^1,2, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:thermal nanoimprint, conductive polymer

軽量，柔軟性，可視光透明などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は，エレクトロニクスにおいて大きな関心を集めている。導電性ポリマー基板への表面平坦性の向上や特性の制御に与える影響に関する知見は，フレキシブルデバイス形成への貢献が期待できる。以上のことから本研究では，原子ステップを有するモールドを用いた熱ナノインプリント法による導電性ポリマー表面の表面平坦性の改善と電気的特性の変化について検討した。