[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [15p-D215-7] COP基板におけるリピート熱ナノインプリントによる表面平坦化と導電性酸化物薄膜の堆積

〇大賀 友瑛¹、大島 淳史¹、金子 奈帆¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：ナノインプリント、ポリマー、ZnO

シクロオレフィンポリマーは、酸化物薄膜と組み合わせたフレキシブルデバイスへの応用が研究されている。デバイス薄膜の物性制御には結晶配向成長が重要であり、そのためにはポリマー表面の平坦性向上やパターンの微細化が必要である。超平坦ポリマー基板上の高結晶配向膜の合成を目的として、ポリマー基板表面へのリピート熱ナノインプリントによる原子レベルパターン形成と平坦性向上およびZnO薄膜成長への効果を検討した。